磕空气?”
倪光南颤抖着手接过文件,只看了第一页的示意图,呼吸就变得急促起来。
那是一个极其大胆、却又在理论上完美闭环的设计。
利用水的折射率,将193纳米的光源“欺骗”成134纳米。这不仅仅是技术的突破,这是思维维度的降维打击!
“快!快!”倪光南突然像个疯子一样大吼起来,把手里的图纸撕得粉碎,“把那台ASML的废机器抬过来!拆掉工件台!给我准备去离子水!我们要改装!”
“倪工,这可是价值千万的设备……”
“拆!出了事我负责!”倪光南一把推开阻拦的研究员。
……
凌晨四点。
实验室里一片狼藉。那台原本精密的ASML光刻机,此刻被改得面目全非。核心曝光区域被加上了一个简陋的、甚至是用玻璃胶密封的注水槽。
“注水完毕。无气泡。”
“液面稳定。”
“光源预热完成。”
所有人的心都提到了嗓子眼。
陈山依然坐在角落里,手里盘着核桃,神色平静。陈念则站在倪光南身后,目光紧锁着监视器。
“曝光。”倪光南按下了红色的按钮。
“滋——”
看不见的紫外激光穿过透镜,穿过那层清澈的去离子水,最终轰击在涂满光刻胶的硅片上。
几秒钟后。
显微镜的图像被投射到了大屏幕上。
死寂。
又是死寂。
紧接着,是一声压抑不住的抽泣。
屏幕上,那些原本在干式光刻下模糊不清、粘连在一起的线条,此刻变得根根分明,锐利如刀。
那是90纳米级别的线条。
那是全世界都在梦寐以求、却始终无法触及的精度。
“成了……”刚才那个反对最激烈的老专家,此刻跪在地上,捧着脸痛哭流涕,“真的成了……竟然真的成了……”
实验室里爆发出了雷鸣般的欢呼声。有人把帽子扔上了天,有人抱在一起跳,倪光南靠在实验台上,摘下眼镜,擦去了眼角的泪水。
这一刻,他们跨越了整整两代技术鸿沟。
当西方还在为157纳米光源焦头烂额时,中国已经拿到了通往45纳米、甚至28纳米制程的钥匙。
“安静。”
陈念的声音带着一股冷意,瞬间
本章未完,请点击下一页继续阅读!