个祸患以后,李东也终于是坐实了董事长的位置,水木大学研究组也终于能够安心开展研究工作了。
……
时间一晃,便又过去了半个月的时间。
因为气压对光刻的成像影响还在研究当中,王向中和马建国做过商量之后,便是做出了决定,首先把水木研究组的光刻机改良成果应用在所有光刻机上。
但说实话,气压对光刻机成像的影响是有限的,i线光刻机所使用的光波波长为365纳米,也就是说,它的极限制程就是0.35微米,尽管王向中在上辈子有看过一篇论文,将离轴照明和移相掩模技术相结合,能将i线光刻机的分辨率超过极限,达到0.2微米制程,但这样的研究工作一点都不划算。
现在想要进一步提升光刻机的性能,便只能选择研究波长更低的准分子激光或者是DUV深紫外线光源,但这个目标对于王向中而言,还是太早了一些。
这个问题还不是光有钱就能解决的,虽然在国际上早早地便有论文提出了这些光源的激发方法,但即便是有理论的存在,国内也没有任何一家厂商能将它们化为现实。
好在王向中还有足够的时间去研究光源问题,目前国际主流芯片制程大概也就是0.2微米左右的样子,在4年后,来自宝岛的林坚博士,便会使用浸润式光刻技术,攻克193纳米分辨率的极限。
一想到这,王向中也不知道该怎么办才好了,现在自己的资金积累还不太够,想要研发国产光刻机无疑是痴人说梦,即便是有了资金,也缺乏人才和背后的工业力量制程,同样是死路一条。
虽然他理论知识丰富,但光凭他一个人,把这些来自未来的理论技术给传播出去,恐怕也就是便宜了阿美瑞肯罢了。
但研究工作又不能停滞,总不可能接下来的四年一直围着i线光刻机转吧?
正当他左右为难时,手机突然响了起来。
“叮叮叮——”
王向中叹了一口气,接起电话,对面传来了李东激动的讲话。
“王老弟,你快来厂里的会客厅,陈正博士回来了!”
陈正博士?他听到这话也是怔了怔,旋即面色也是一阵狂喜,他突然想起来,上次陈正博士承诺了要带专家来指导工作,想必这次也是把人给找到了,带着对方来了晶华做客。
陈正博士口中的专家,可不是自己这种只懂得理论知识的假专家,而是名副其实的,耕耘在一线多年的真正的工程师专家!
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