继续补充道:“我们怀疑可能是哪套环节出现了问题,所以还请各位专家多多看看,分析一下问题的原因。”
叶志华也是面色沉重地点了点头,他也知道,这次几人背负的任务还是挺重的,就连他也没有信心,一定能抓住问题本质核心所在。
王向中一听到这话便知道,这问题大概率就是出在硅片生产线上了。在这个年代,即使有废气过滤系统,对氯化氢分子进行中和处理,但依然还是会有不少氯化氢气体逃逸而出,接着通过通风系统进入净室之内。
虽然氯化氢在常温下不与硅直接反应,但是在PN二极管上的硼,以及金属电路所使用的铝,则就没那么幸运了,它们会与氯化氢共同反应,直接破坏电路上的结构,从而导致废品率明显增多。
但除了金圆圆之外,所有人都不知道,其实这个问题早就被王向中一眼就给破解了,其关键问题根本就没有出在内部生产线中,而是外部的硅片生产线上。
当然王向中也不可能现在就把这个问题说出来,他还需要更多的细节来验证自己的猜想。
几人跟着牛玉鹏上了楼,便隐约听到前面房间里呼啸而来的风声。
“前面就是净室了,”被噪音影响,牛玉鹏的声音也不自觉地大了几分,“一会咱们就要换衣服进入净室了,先声明一下,里面不能吃东西,不能脱口罩,不能咳嗽挠痒,以防止污染物流入生产线,听明白了没有?”
几人听到牛玉鹏的话,皆是点了点头。
净室,顾名思义,即是干净的生产室。这条5英寸的晶圆生产线,制程约在0.9微米左右,普通的灰尘等颗粒污染物,其直径尺寸大概就是几微米左右的样子,一旦在生产线上出现灰尘颗粒,极有可能直接将数张甚至数百张晶圆直接报废,所以需要格外谨慎。
净室不仅在温度、湿度、压强等指标方面控制相当严格,就连微震动指标,也是它所关心的数据之一,就拿光刻机来说,只要出现一点点震动,就可能导致光掩模偏离,或者光源不稳等情况,直接报废晶圆。
这个年代都还好,在未来纳米级别的芯片时代,就连患了感冒都不被允许进入净室,要知道一颗病毒的直径大多就在一百纳米左右,只要一个不慎,一口喷嚏下去,暂且还不提震动的事情,就算是这口喷嚏中的病毒,直接的经济损失至少也是数十万……
等到他们穿戴好防尘服,静电鞋,以及防尘目镜和口罩,在一番仔细检查,确认头发等细物都未暴露在空气中时,方才被允
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