以免影响到后面的光刻。
五条生产线同时启动，数个清洗台和烘干设备都在作业。
短暂等待过后，半导体硅片已经彻底干燥，磁吸运输设备将它们运往下一个步骤，涂抹光刻胶。
自动取片。
自动清洗。
自动涂胶。
自动光刻。
光刻工厂的自动化流水线，让赵思秋目瞪口呆，难以想象这居然是自己国家的流水线，西方也没有这么先进的吧？
其他人则比较淡定，因为上次已经见识过了。
当ArF光刻正胶涂抹完成，它们将自动运输到光刻区域。
值得一提的是，光刻工厂有上百个光刻区域，这些光刻区域是可以挑选和建设的。
例如我需要13.5纳米波长的极紫外光，就可以在光刻工厂停止运行后，调整光刻位置和参数，就拥有了13.5纳米波长的光刻区域。
再比如说，我不需要13.5纳米波长的极紫外光，我需要7纳米的，同样可以把13.5纳米波长的光刻区域调整到7纳米光线区，就拥有7纳米的光刻区域。
灵活取光运用，也是光刻工厂的一个优势。
随着半导体硅片抵达指定区域，透镜组设备立即移动到指定位置，13.5纳米波长的极紫外光发生了折射，精准地照射在光掩膜版上，上面的完整图案被照射后，最终落到待曝光的半导体硅片表面。
“滋——”
ArF光刻正胶遇到光源，内部开始发生化学反应。
当整块半导体硅片被光刻了一遍，它也随之前往下一个步骤，清洗光刻胶。
……
控制室的众人目睹全自动化生产，没有一人说话，都在紧张等待最终的结果。
上次是生产完成一次后，光刻工厂出现电能不稳定情况，现在五个工作台一起启动，如果能完美运行一小时，就说明之前的努力都是有用的。
清洗。
切割。
测试。
检验报告传回。
林天看着数据，看向陈星道：“上帝芯片数据没有问题，全部参数都达标了。”
“好。”
陈星微微颔首。
这个结果上次已经知道了，他现在最想知道的是，光刻工厂这次能运行多长时间。
“滴答滴答——”
时间一分一秒过去。
半小时。
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